Merlin
El MERLIN FE-SEM supera el conflicte entre la resolució d'imatge i la capacitat analítica. El nucli del MERLIN és la columna GÉMINIS II millorada, que, amb el seu sistema de doble condensador, assoleix una resolució d'imatge de 0,8 nanòmetres. L'equip permet obtenir una corrent de fins a 100 nanoampers per a anàlisis analítics, tals com l'espectroscòpia d'energia dispersiva de rayos X (EDS) i anàlisis de la difracció d'electrones retrodispersats (EBSD).
_0.JPG)
Resolució: 0.8nm a 15kV, 1.4nm a 1kV
Corrent de sonda: de 4pA a 100nA
Voltatge d'acceleració: de 0.2 a 30 kV
Detectors:
Secundaris estàndard
Secundaris d'alta resolució
Retrodispersats amb filtre d'energia
Retrodispersats amb selector d'angle
Detector EDS Oxford LINCA X-Max
EBSD analisys Oxford Nordlys II
L'equip pot ser utilitzat per a una àmplia gama d'aplicacions, gracies a la colecció de detectors disponibles. Aquests consisteixen en un detector in-lens de secundaris per a imatges de superficie d'alta resolució, un detector in-lens ESB per a contrast de materials i un detector de selecció d'angle (ASB) per a electrons retrodispersats. Aquests últims contenen informació específica sobre la orientació del cristalls de la mostra.
El sistema de compensació de càrrega del MERLIN també permet l'adquisició d'imatge d'alta resolució de mostres no conductores. Els electrone que s'acumulen en la superficie de la mostra són arrossegats por un dèbil flux de nitrògen. Així, el sistema de detecció completa del MERLIN (inclosos els detectors analítics) es poden utilitzar fins i tot en mostres no conductores.
FEDER co-funded
Aquest equip ha estat cofinançat en un 50% a càrrec del Fons de desenvolupament regional en el marc operatiu FEDER de Catalunya 2007-2013
