Merlin
El MERLIN FE-SEM supera el conflicto entre la resolución de imagen y la capacidad analítica. El núcleo del MERLIN es la columna GÉMINIS II mejorada, que, con su sistema de condensador doble, alcanza una resolución de imagen de 0,8 nanómetros. El equipo disponible permite obtener una corriente de hasta 100 nanoamperios para análisis analíticos, tales como la espectroscopia de energía dispersiva de rayos X (EDS) y análisis de la difracción de electrones retrodispersados (EBSD).
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Resolución: 0.8nm a 15kV
1.4nm a 1kV
Corriente de sonda: 4pA - 100nA
Voltage de aceleración: 0.2 - 30 kV
Detectores:
Estándar SE
In-lens SE
Retrodispersado con filtro de energia
Retrodispersados con filtro angular
Detector EDS Oxford LINCA X-Max
EBSD analisys Oxford Nordlys II
El equipo puede utilizarse para una amplia gama de aplicaciones, gracias a la colección de detectores disponibles. Estos consisten en un detector in-lens de secundarios para imágenes de superficie de alta resolución, un detector in-lens ESB para contraste de materiales y un detector de selección de angulo (ASB) para dispersión de electrones retrodispersados. Estos últimos contienen información específica sobre la orientación de los cristales de la muestra.
El sistema de compensación de carga del MERLIN también permite la proyección de imagen de alta resolución de muestras no conductoras. Los electrones que se acumulan en la superficie de la muestra son arrastrados por un fino flujo de nitrógeno. De este modo, el sistema de detección completa de MERLIN (incluidos los detectores analíticos) se pueden utilizar incluso en muestras no conductoras.
Aplicaciones.
Imágenes alta resolución
EBSD, EDS
LowLoss BSE
Cofinanciado con fondos FEDER
Este equipo ha estado cofinanciado en un 50% a cargo del Fondo de desarrollo regional en el marco operativo FEDER de Cataluña 2007-2013.
